レーザ化学開封機NSC IC開見PL 201は、従来型固体レーザに比べて直接的なコストが低く、使用期間が長い光ファイバレーザを搭載している。

パッシベーションから層間膜へ

ガス流量、真空条件、無線周波数整合はシステムによって自動的に制御される。このシステムは操作が簡単で、レシピを選択して起動ボタンを押すだけでエッチングを開始することができます。

無線周波数発生器、真空制御システム、温度制御ユニットはエッチング安定性と再現性を高めるためにアップグレードされている。

ES 403は8インチまでのウェハをエッチングし、ICパッケージなどのオプションアダプタを使用した小型デバイスを使用することができます。ES 403は、ターボ分子ポンプ、質量流量制御器、バタフライバルブによって制御される高性能真空システムを有する安定かつ**エッチングを提供する。